• Q: 為什麼坩堝會突然裂開?
    A: 隨著使用時間和次數的增加，坩堝會因為靶材殘留物的累績而產生雜質，進而影響坩堝原本材質的熔點。
    亦或是電子槍的磁場設置錯誤，致使電子束並未完全擊中靶材，而是打偏至坩堝。
    再者，冷卻水路的異常同樣會影響坩堝因散熱不佳，隨著溫度不斷上升，無法承受高溫而破裂。
  • Q: 為何在濺射鍍膜(Sputtering)過程中，靶材會脫靶?
    A: 鍍膜過程中，靶材脫靶有許多原因:
    1. Bonding(接合)所使用的In(銦)膠塗得不夠多。
    2. 冷卻水路異常，導致無法散熱。
    3. 施打的時間過長。
    4. 瞬間的電流異常，且無法及時解決，使靶材無法承受。
    5.施打的電流功率過大。
  • Q: 石英震盪片可否重複使用
    A: 由於石英是相當敏感的材質，經過碰觸或使用後，都會影響它用於偵測膜厚的能力。
    除非對膜厚偵測結果的要求不高，基本上不建議重複使用。