所謂的靶材(Target),是半導體和光電業常用的一種濺射鍍膜材料。
濺射鍍膜系統是在高真空環境中充入工作氣體(一般為氬氣),藉由兩個相對應的金屬板(陽極板和陰極板),施加電壓產生電漿,電漿中的正離子被陰極板的負電壓吸引加速,具有高能量後,轟擊陰極靶材表面,將離子動量轉移給靶材原子,靶材原子獲得動量後溢出靶材表面,附著於欲鍍膜的基板上,此過程即為濺射鍍膜,又多稱濺鍍。
三達光學可依據不同材質的靶材,提供接合(Bonding)的服務,靶材規格也可依需求客製化。除此之外,我們亦提供出廠前的金屬探傷服務,為您的製程多一層把關。
鍍膜過程中,偶爾會因人為因素,或者材料因素而有脫靶的狀況發生,針對此部分,可參考三達光學網站中的常見問題,當中有列舉數個脫靶的可能性,或者來電公司,讓專員為您釋疑。