早期蒸鍍大多使用熱電阻加熱法，但靶材和坩鍋與加熱源直接接觸，能蒸鍍的材料種類有限，靶材耗損量大，得到的薄膜純度也不足，而電子束蒸鍍法則可有效地改善熱蒸鍍法的限制。電子束蒸鍍法是利用高能電子束的動能轉換為熔化靶材的熱能，並利用靶材在接近熔點時的飽和蒸汽壓進行鍍膜。此法除了有很好的熱轉換效率外，蒸鍍速率亦能精準控制，靶材種類選擇的限制較少，除部分化合物及合金外，多數材料皆能蒸鍍。
電子槍產生的電子束經270度偏向發射到蒸發物的表面，由電磁線圈組合成的掃描裝置進行蒸發掃描。電子槍本體構造堅固，容易保養。採用電子槍本體與坩鍋部分離技術，可依據用途自行組合。
在鍍膜過程中，須注意電子槍頭的磁場設定，若設定錯誤，非但無法擊中靶材，甚至有可能打偏至坩堝，導致坩堝破損和鍍膜成效不佳。
三達光學提供各大廠牌如ULVAC、TELEMARK、TEMESCAL、JOEL和PLASMATECH...等，全系列電子槍均可製作。此外，電子槍的內部零件亦有販售。如有相關問題欲詢問，也歡迎來電本司或留言給我們。